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低温等离子废气处理设备是利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用，净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能的特点，使废气物质分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解废气的目的。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
等离子光氧催化设备的保养跟技术去除污染物的基本原理(一)、等离子废气净化器的保养
1、强调各工种的相互配合
生产中往往因等离子废气净化器辅助工作发生错误而影响生产的正常运行，如分析的错误将引起加料量和物料成分的改变；仪表的指示错误会欺骗操作人员，使得实际操作条件偏离工艺规程的要求。电器故障和设备故障也会引起生产的不正常。
2、严格遵守废气处理工艺技术规程
这些规程是组织生产与进行操作的基本法规，是从生产和实践中总结出来的规律性的东西。严格遵守这些法规是日常运行中重要的一条原则。
3、认真执行各项规章制度
除了严格遵守上述规程外，还应有一套适合自己实际情况的运行管理制度，如岗位责任制度，交接班制度，检测制度，设备保养、检修制度，健康检查制度，质量检验制度和经济核算制度等。
(二)、等离子净化器技术去除污染物的基本原理
等离子废气处理设备在外加电场的作用下，气体放电产生大量等离子体，气体中产生的大量自由电子在电场力的作用下获得能量，其中有机物形成的键能大部分都在这些活性粒子能量范围内。
有机物的键能以及无机污染物的键能在低温等离子活性粒子的能量范围内，因而使等离子体在理论上对于污染物的去除成为可能。
等离子体对污染气体的处理包括多个方面：(a)其中包含大量的电子和正负离子，在高压电场梯度作用下，先与空气中的颗粒污染物发生非弹性碰撞，从而附载在其上面，使之成为荷电离子，然后在电场作用下沉积，这是其中的一个物理过程，即静电除尘过程；(b)非平衡态等离子高能电子、离子等与污染物分子发生弹性碰撞，这些活性离子的平均动能高于污染物分子的健能，污染物分子在这些高能电子轰击下，电离和解离，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变为无害或低毒低害物质，从而使污染物得以去除；(c)另外，与一些气体碰撞过程中使其激发，激发态的分子较不稳定，很快回到基态而辐射出光子，具有足够量的光子照射到电晕较上可能导致光电离而产生光电子，继续维持放电的进行，产生多的高能粒子；(d)对电子亲和力强的一些分子，例如O2和H2O，一部分通过碰撞激发大量OH，HO2，O等自由基，这些自由基具有强性，可将污染物去除，另一部分可形成负离子，提高空气品质。
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