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等离子体降解污染物是利用这些 电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降 解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质 就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
低温等离子净化器废气处理技术跟去除污染物研究现状【一】、低温等离子废气净化设备废气处理技术
低温等离子净化器废气处理技术，采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，初用于氟利昂类、哈隆类物质的处理，后延伸至工业恶臭、异味、气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的电子、自由基等活性粒子、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生，等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而各种污染源排放的异味、臭味污染物，使气体达到低毒化、化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
【二】、等离子净化设备去除室内污染物研究现状
对于纳米光催化空气净化技术的研究，众多研究一方面主要集中在提高催化齐」活性和降低能带方面，另一方面是通过将光催化与其他技术联用以提高污染物去除效果：
(1)等离子净化器在提高催化剂活性和降低能带方面：主要通过掺杂金属离子，贵金属，复合半导体等来减小电子与空穴的复合，降低带隙能带来提高光催化效率。
(2)在催化剂活性一定前提下，为提高污染物的污染物的去除效果，主要通过将光催化技术与活性炭吸附和臭氧净化相结合的研究：在光催化技术与活性炭技术相结合研究方面：做了大量工作，通过分析流速、初始浓度、湿度等对污染物去除效果的影响，结果发现光催化技术在污染物浓度较高条件下光催化反应效率较高，而在污染物浓度较低条件下的污染物光催化去除效果不明显；为了提高低浓度下污染物光催化净化效率，通过将纳米Ti02负载不同的活性炭载体上，进行光催化去除甲醛的实验，结果表明，在无活性碳存在时，甲醛去除率25%左右，而活性炭网存在时去除率可达75%，同时光催化作用延长了活性炭的吸附活性，但是随着来流气体速度的增加，以活性炭网载体为例，0.44cm/s时，甲醛的去除率可达71%左右，而在流速增加到1Cm/S时，去除率仅为45%左右，去除效果随流速增加而下降，尽管活性炭发挥了吸附作用，对污染物去除效果的提高起到了作用，但是对于去除率和处理量的提高仍然是有限的；均守光催化与活性炭相结合对苯等污染物进行了去除实验，在流速为1.18cm/s时，无活性碳存在时，苯的去除率仅为17%左右，而活性炭存在时其去除率可达52%左右，结果表明在利用活性炭的吸附功能在催化剂表面形成局部的高浓度，对于提高污染物的去除效果起到了作用，但发现两种技术相结合污染物去除率的提高也有限，且污染物反应流速(即处理量)较小，气体流速大多在0.07cm/s一1.18cm/s之间。
即随着污染物流量的增加与流速的加快，光催化的去除效果下降，尽管活性炭的存在提高提高了污染物的局部高浓度，但是对于污染物的去除量仍然受到限制。
在光催化与臭氧净化技术相结合研究方向：光催化与臭氧相结合，对进行去除实验，利用臭氧产生的强性的氧原子对污染物进行去除，结果表明在入口量为5ppmv时，单独光催化作用时，去除率为82%左右，而与臭氧共同作用时，去除率可达92%左右，当入口浓度20ppmv时，单独光催化作用时，去除率仅为16%左右，而与臭氧相结合时，去除率可达到78%左右；光催化技术与臭氧相结合对甲醛进行去除实验，通过有无臭氧的对比情况的对比，在低浓度1.84mg/m3时光催化去除率73.6%，在臭氧存在时去除率可达79.4%，在高浓度24mg/m3时，光催化去除率为43.4%，有臭氧存在时去除率为72%，可知臭氧的存在地提高了污染物的去除的去除效果，但臭氧本身是一种对人体有害的污染物，对于室内空气净化，实际应用过程中应严格控制参与反应后臭氧的残余量，以减少对人体的二次污染。另外在对甲醛进行去除时，甲醛的来流速度为1.06cm/s，处理量也受到限制，因而应采用的结合技术提高室内污染物低浓度下去除量是光催化技术实际应用的关键。
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