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蓄热式焚化炉是指将工业有机废气进行燃烧净化处理，并采用蓄热体吸收、释放燃烧热量，对待处理废气进行换热升温、对净化后气体进行换热降温的装置。能在高温下将可燃废气氧化成对应的氧化物和水，从而达到净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量的效果。以下就是蓄热式焚化炉的工艺流程说明。一、净化后的高温气体离开氧化室，进入蓄热室2（在前面的循环中已被冷却）放热降温，之后进入换热器进行热能回用后经烟囱排入大气，同时引小股净化气清扫蓄热室3。而蓄热室2吸收大量热量后升温，用于下一个循环加热废气。
二、有用废气进入蓄热室1的陶瓷蓄热体（该陶瓷蓄热体“贮存”了上一循环的热量），陶瓷蓄热体放热降温，而有用废气吸热升温。
三、废气离开蓄热室后以较不错的温度进入氧化室，在氧化室中由VOCs氧化升温或燃烧器加热升温至氧化温度820℃，使其中的VOCs成分分解成二氧化碳和水。
四、循环完成后，进气与出气阀门进行一次切换，进入下一个循环，废气由蓄热室2进入，蓄热室3排出。在切换之后，清扫蓄热室1。如此交替切换，实现连续处理VOCs废气。