品牌:GYPEX英鹏
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品牌 | 英鹏 |
型号 | YP-150IS/EX |
腔体尺寸 | 石英玻璃,直径150mm*高度130mm |
供电规格 | AC220V,200W |
溅射电压 | MAX 2500V |
溅射电流 | MAX 30mA |
靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm |
适用靶材 | 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, |
普通金属Cu、W、Ag、Cr等 | |
样品台可调高度 | 20-50mm |
样品台尺寸 | 直径55mm |
工作真空度 | 1~20Pa |
气体路数 | 单路 |
补气流量 | 手动调节 |
控制 | 触屏控制 |
真空泵 | VRD-8 |
品牌 | 英鹏 |
型号 | YP-150IS/EX |
腔体尺寸 | 石英玻璃,直径150mm*高度130mm |
供电规格 | AC220V,200W |
溅射电压 | MAX 2500V |
溅射电流 | MAX 30mA |
靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm |
适用靶材 |
贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 |
样品台可调高度 | 20-50mm |
样品台尺寸 | 直径55mm |
工作真空度 | 1~20Pa |
气体路数 | 单路 |
补气流量 | 手动调节 |
控制 | 触屏控制 |
真空泵 | VRD-8 |