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时，内门电锁自动上锁以防风淋室内未净化空气流入洁净区，风淋室照明灯点亮，门外工作指示灯亮。 2)进入风淋室关上外门后，请站在感应区内。系统红外探头开始检测是否有人，如检测到有人，系统即转入风淋过程。 3)风淋前内外门上锁，风机启动开始风淋，同时，风淋倒计时开始计时。 4)如系统在外门关后规定时间内检测不到风淋室有人，
长春工厂装修_辽宁乐金建设公司_可老好了_辽宁净化工程——静电式净化方式 工作原理：采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，产生电晕放电，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静
长春工厂装修_辽宁乐金建设公司_可老好了_大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超
度等级、空气中含有的微生物种类和浓度、压差等的要求是不问的。又如集成电路生产用洁净室净化工程．其控制对象主要是空气中的尘粒；按集成电路的特征尺寸、集成度的不同，对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的，应披具体工厂的产品品种确定。 2)为确保洁净室净化工程内所必须的空气洁净度，洁净室净化工程设计中涉及
防让交叉污染，如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差，按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。 3)洁净室净化工程设计是各专业设计技术的综合，尤其是洁净室净化工程的工艺设计、洁净建筑设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切协同、相耳渗透和合理安排的综合设计。洁净室净化工程设计应做到
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